特氣柜是半導(dǎo)體、光伏、生物醫(yī)藥等行業(yè)儲存與輸送特種氣體(如腐蝕性、易燃易爆、有毒氣體)的專用設(shè)備，其設(shè)計圍繞“安全輸送、精準(zhǔn)控制、風(fēng)險防控”核心，下面從工作原理與核心優(yōu)勢兩方面展開解析。?
 

　　一、工作原理：三級管控保障氣體安全輸送?
 

　　氣體儲存與穩(wěn)壓環(huán)節(jié)?
 

　　特氣柜內(nèi)置鋼瓶固定裝置(含防震墊與鎖鏈)，確保鋼瓶垂直穩(wěn)定存放。鋼瓶出口連接減壓閥，將高壓氣體(通常10-15MPa)降至工藝所需低壓(0.1-0.5MPa)，同時配備壓力表實時監(jiān)測壓力，避免超壓風(fēng)險。?
 

　　氣體輸送與控制環(huán)節(jié)?
 

　　采用耐腐蝕、低吸附的316L不銹鋼管道，減少氣體污染。管道上設(shè)電磁閥與流量控制器，可通過PLC系統(tǒng)遠(yuǎn)程或現(xiàn)場調(diào)節(jié)氣體流量(精度±1%)，滿足不同工藝需求。部分特氣柜還搭載氣體混合模塊，實現(xiàn)多組分氣體按比例精準(zhǔn)混合。?
 

　　安全監(jiān)測與應(yīng)急環(huán)節(jié)?
 

　　柜內(nèi)安裝氣體泄漏探測器(針對有毒或可燃?xì)怏w)、溫度傳感器與壓力傳感器，實時采集數(shù)據(jù)并傳輸至中控系統(tǒng)。當(dāng)檢測到氣體濃度超標(biāo)(如可燃?xì)怏w達(dá)到爆炸下限10%)或溫度/壓力異常時，系統(tǒng)立即觸發(fā)報警，同時自動關(guān)閉電磁閥切斷氣源，啟動排風(fēng)裝置(換氣次數(shù)≥12次/小時)排出有害氣體，若為腐蝕性氣體還會聯(lián)動噴淋中和裝置。?
 

　　二、核心優(yōu)勢：適配高要求工業(yè)場景?
 

　　安全防護(hù)等級高?
 

　　整體采用防爆設(shè)計(符合ATEX或IECEx標(biāo)準(zhǔn))，柜體材質(zhì)為抗腐蝕的冷軋鋼板(表面噴涂環(huán)氧樹脂)，可抵御酸堿侵蝕；柜門設(shè)聯(lián)鎖裝置，開門時自動切斷氣源，防止人員誤操作引發(fā)危險。?
 

　　提升工藝穩(wěn)定性?
 

　　通過精準(zhǔn)的壓力與流量控制，避免氣體波動影響生產(chǎn)質(zhì)量(如半導(dǎo)體芯片制造中，氣體純度波動可能導(dǎo)致良率下降)；管道系統(tǒng)經(jīng)過氦檢(泄漏率≤1×10??Pa?m³/s)，確保氣體純度(可達(dá)99.9999%)。?
 

　　節(jié)省空間與成本?
 

　　集成儲存、輸送、監(jiān)測功能于一體，無需單獨(dú)搭建氣體儲存間，尤其適合車間空間有限的場景；模塊化設(shè)計便于后期擴(kuò)容或更換氣體類型，減少設(shè)備改造成本，同時降低人工巡檢強(qiáng)度(可實現(xiàn)7×24小時無人值守)。?
 

　　合規(guī)性強(qiáng)?
 

　　符合《特種氣體使用安全規(guī)范》(GBZ/T 296-2017)及行業(yè)特定標(biāo)準(zhǔn)(如半導(dǎo)體行業(yè)SEMI標(biāo)準(zhǔn))，助力企業(yè)通過環(huán)保與安全驗收，規(guī)避合規(guī)風(fēng)險。